真空氦气检漏原理

真空氦气检漏是一种基于氦气作为示踪气体，结合质谱技术的高精度泄漏检测方法，通过检测氦气分子通过漏孔后的信号变化来定位和量化泄漏。‌

核心原理

‌氦气的物理特性‌

氦气分子量小（4u）、惰性强、穿透能力优异，能通过微米级漏孔，且自然界本底浓度低（约5ppm），易于检测。

其粘滞系数低，在真空环境中扩散速度快，可快速响应泄漏信号。

‌质谱分析技术‌

氦质谱检漏仪通过离子源将氦气电离为正离子，利用磁场中洛伦兹力使不同质荷比（m/e）的离子偏转，分离氦离子并检测其电流信号，电流强度与漏率成正比。

典型检测方法

‌真空法（真空箱法）‌

将被检件置于真空箱中抽真空，内部充入氦气，泄漏的氦气通过漏孔进入真空箱，被质谱仪检测。

适用于高真空环境下的密封件检测，如半导体设备。

‌正压检漏（吸枪法）‌

被检件内部充氦气，外部用吸枪扫描，氦气从漏孔逸出时被吸入质谱仪。

适用于高压容器或充气设备。

‌背压法‌

将被检件浸入高压氦气环境，氦气渗入内部后，再抽真空检测释放的氦气。

应用优势

‌高精度‌：可检测纳米级漏孔，适用于航天、核工业等严苛场景。

‌安全性‌：氦气无毒无害，替代传统易燃易爆示踪气体。

‌定量分析‌：通过信号强度直接计算漏率，支持标准化评估。