什么是氦质谱检漏？为什么检漏偏偏选氦气，不用别的气体？

在航天、真空设备、压力容器等行业，零部件微小的泄漏就可能造成设备失效，普通气压试压很难发现微米级细微漏孔，氦质谱检漏就是目前高精度泄漏检测的主流手段，检测依据为 GB/T 36176‑2018《真空技术 氦质谱真空检漏方法》。

氦质谱检漏，是以氦气作为示踪气体，依靠氦质谱检漏仪捕捉穿透漏孔的氦分子，以此判断工件是否泄漏、定位漏点、计算漏率的检测技术。检测时，将被检件抽成真空，在工件外侧喷吹或者罩充氦气；如果存在漏孔，氦气就会穿过缝隙进入工件内部，被检漏仪捕捉识别。仪器可以换算得到漏率数值，最小能够检出极其微小的泄漏，广泛用于部件、组件乃至整套系统级产品检测。

既然是示踪检漏，为什么偏偏选用氦气，而不用氢气、氮气、空气等其他气体？

第一，氦气分子粒径很小。氦属于单原子气体，分子直径极小，能够穿过微米甚至亚微米级的微小漏孔，很多其他气体难以通过的微缝隙，氦气可以顺利穿透，更容易把漏孔 “暴露” 出来。

第二，空气中氦气含量极低。大气中氦的体积分数仅约百万分之五，环境本底信号微弱。检测的时候，环境自带的氦干扰很小，检漏仪更容易分辨从漏孔跑出来的氦气信号，不容易出现误报警。如果选用空气中大量存在的氮气、氧气，环境背景干扰极强，根本无法区分是工件漏出还是环境自带气体。

第三，氦气化学性质惰性、安全。氦气属于惰性气体，不会燃烧、不会爆炸，不腐蚀金属、橡胶、密封件，检测过程不会损伤被检工件。对比氢气，氢气虽然分子也小，但易燃易爆，现场使用存在重大安全隐患，不适合大规模工业现场检漏。

第四，氦质谱检漏仪对氦离子具备专属识别能力。仪器内部质谱分析单元，可以筛选出氦气特征质荷比信号，把水蒸气、油气、其他残余气体过滤掉，抗干扰能力强，实现高灵敏度检测。

当然氦气也有短板，就是成本较高。实际生产中也会使用稀释氦气开展检测，在计算漏率时需要对氦气浓度做修正，这也是国标中明确要求的计算项。

简单来说：分子小能钻微缝、空气中含量低干扰少、化学惰性安全、仪器可以专门识别，四大特点，让氦气成为高精度质谱检漏无可替代的示踪气体。

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