氦检漏前的准备工作有哪些？这5步必须做好！

氦质谱检漏是一种高精度、非破坏性的泄漏检测方法，广泛应用于航空航天、制冷设备、半导体制造等领域。为了确保检测结果的准确性和可靠性，在进行氦检漏之前需要做好充分的准备工作。以下是氦检漏前必须完成的五个关键步骤。

一、环境准备

保持检测环境清洁无干扰

确保检测区域远离任何可能释放氦气的源（如氦气瓶、先前的测试残留等），以避免背景氦浓度升高影响检测灵敏度。

检测应在通风良好的环境中进行，尽量减少空气流动对氦气扩散的影响。

控制温湿度和大气压

温度、湿度和大气压力的变化都会影响气体的行为，从而可能影响检测结果。理想情况下，应在一个温度稳定、湿度适中且大气压恒定的环境中进行检测。

二、设备检查与校准

设备状态检查

在开始检测前，务必检查氦质谱仪和其他相关设备是否处于良好工作状态。包括但不限于真空泵、吸枪、管道连接等部分。

检查所有密封件是否有老化或损坏迹象，并及时更换。

定期校准仪器

使用标准漏孔对氦质谱仪进行校准，确保其测量精度符合要求。建议根据使用频率定期校准，通常至少每年一次或按照制造商推荐的时间间隔执行。

三、样品预处理

彻底清洁被检件表面

在进行氦检漏之前，必须清除被检件表面的所有污染物（如油脂、灰尘等），因为这些物质可能会阻碍氦气的扩散，导致假阴性结果。

对于某些特殊材料，可能还需要进行特定的清洗程序，以去除吸附在其表面上的气体分子。

抽真空处理（针对真空法）

如果采用的是真空法，那么在注入氦气之前，需要将被检件内部抽至规定的真空度。一般而言，需达到10⁻¹ mbar以下的真空水平，并保持一段时间以确保系统稳定。

四、选择合适的检测方法

确定检测方案

根据被检件的具体情况（如大小、形状、预期泄漏位置等），选择最适合的检测方法——吸枪法还是真空法。

吸枪法适合较大、不易移动的对象；而真空法则适用于小型、可封闭的组件。

设定合理的灵敏度参数

根据产品设计规格及行业标准，调整氦质谱仪的灵敏度设置。不同的应用场景对漏率的要求不同，因此需要针对性地设定检测参数。

五、记录初始数据

记录基线值

在正式开始检测之前，先记录系统的基线值（即无泄漏时的状态）。这对于后续数据分析至关重要，有助于识别真正的泄漏信号。

包括记录当前的环境条件（如温度、湿度）、设备参数（如真空度、氦气流量）以及任何其他可能影响结果的因素。

制定详细的检测计划

明确每个检测点的位置、顺序以及预期的检测时间。制定一个清晰的计划不仅有助于提高效率，还能保证每个部位都得到充分检查。

通过以上五个步骤的精心准备，可以有效提升氦检漏的准确性，减少外部因素造成的误差，确保每一次检测都能得出可靠的结果。正确的前期准备工作是成功实施氦检漏的基础，也是保障产品质量的重要环节。